ASML光刻机或延迟出货？中芯国际：影响不大

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如果美国像干涉中资收购德国爱思强那样搞干涉，或者荷兰政府脊梁骨不够硬，担心"友邦惊诧"，中芯国际的EVU光刻机恐怕是不能按期收货了。

www.ednchina.com, Nov. 15, 2019 – 

11月7日《日本经济新闻》报道了一则消息，称全世界唯一的高端光刻机生产厂商荷兰ASML公司决定，不再向中国中芯公司出售可用于加工7nm以下芯片的极紫外光刻机（EUV）。之后，中芯国际表示：极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。

ASML也公开表态：关于日经新闻有关中芯国际相关报导有误，"延迟出货"仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。ASML表示，对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。

从中芯国际和ASML的公开表态看，日经新闻的报道有夸大其词的嫌疑，但如果美国像干涉中资收购德国爱思强那样搞干涉，或者荷兰政府脊梁骨不够硬，担心"友邦惊诧"，中芯国际的EVU光刻机恐怕是不能按期收货了。

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