中芯国际上海建12英寸晶圆厂：直奔7nm

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ee.ofweek.com, Feb. 09, 2021 – p>近日,上海市公布了2021年重大建设项目清单,中芯国际的12英寸芯片SN1项目入选,目前处于在建状态。

中芯国际的12英寸芯片SN1项目由中芯国际旗下的中芯南方负责,总投资额90．59亿美元,其中生产设备购置和安装费就有73．30亿美元,规划月产能3．5万片晶圆。

这是中国内地第一条FinFET工艺生产线,也是中芯国际14nm及以下先进工艺研发和量产的主要承载平台,未来覆盖工艺节点可直达7nm。

中芯国际联席CEO梁孟松此前曾披露,中芯国际的28nm、14nm、12nm、N+1等技术均已进入规模量产,7nm技术开发已经完成,今年4月可以进入风险量产,5nm、3nm最关键也是最艰巨的8大项技术也已经有序展开,只等EUV极紫外光刻机到来,就可以进入全面开发阶段。