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台积电3nm技术有序推进,2nm将转向GAA晶体管

news.eeworld.com.cn, Feb. 19, 2021 – 

晶圆代工龙头台积电报喜!董事长刘德音近日受邀于2021年国际固态电路会议(ISSCC 2021)开场线上专题演说时指出,台积电3纳米制程依计划推进,甚至比预期还超前了一些,3纳米及未来主要制程节点将如期推出并进入生产。台积电3纳米制程预计今年下半年试产,明年下半年进入量产。

刘德音在演说时虽未透露3纳米进度会超前多少,但此一消息仍令市场感到振奋。

刘德音董事长以「释放创新未来(Unleashing the Future of Innovation)」为演说主题,指出半导体制程微缩脚步并未减缓,摩尔定律仍然有效,台积电3纳米比预期进度超前,至于2纳米之后的电晶体架构将转向环绕闸极(GAA)的纳片(nano-sheet)架构,而极紫外光(EUV)技术可支援到1纳米。

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