Intel is selling ASML shares again as EUV is about to go into production.

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作者：Dylan McGrath，Luffy Liu, Oct. 16, 2018 –

2012年，英特尔，三星和台积电都向ASML投入了大量资金，以此推动极紫外（EUV）光刻技术发展，英特尔当时投资41亿美元，交易有效期为5年，英特尔将拥有ASML 15%的股份，同时为ASML的研发项目投资33亿美元。

三星则投资了2.76亿欧元用来支持ASML研发下一代芯片制造技术，另外用5.03亿欧元购买了3%的股份，共计7.79亿欧元（约9.75亿美元）。台积电也投资了14亿美元。当时三家公司三所占ASML的股份合起来大约是23%，金额达到38.5亿欧元。

如今这三家芯片制造商均已将其持有的ASML股份减持过半。台积电在2015年出售了所有ASML股票，而三星和英特尔在2016年开始出售ASML股票。

自2012年7月9日英特尔投资ASML以来，ASML的股价已经从约每股49美元涨至每股近172美元（截止10月11日），上涨了约350％。

最初ASML的研发计划包括450mm晶圆光刻系统和EUV光刻机系统。在发现450mm晶圆的道路上行不通后，ASML于2013年11月决定"暂停450mm光刻系统的开发直到看到客户及市场在这一领域有明确的需求"。

EUV光刻机的研发过程也充满坎坷，直到去年之前，业界甚至一直怀疑这是否是正确而必要的方向。

不过经过多年的跳票，EUV终于在前沿芯片制造商的投资帮助下，发展到了即将用于在量产的地步。三星已经表示将在今年晚些时候开始使用EUV，台积电本周表示已经流片其首款部分采用EUV工艺的芯片，并计划明年4月使用完整的EUV开始5nm试产。

ASML没有立即回应EE Times的评论请求。英特尔发言人拒绝发表评论，理由是公司政策不允许对适用证券或其他法律要求的上市公司投资发表评论。