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中国半导体先进制程速度放缓,落后国外至少2~3代
www.riscv-mcu.com, May. 11, 2021 –
由于受到美国制裁冲击,中国半导体先进制程发展速度趋缓。据日经采访7 家中国主要半导体设备制造商,大多数厂商表示目前中国大陆主要生产14~28nm芯片,落后国外至少2~3 代。
日经于今年3月在中国国际半导体展上访问多家半导体公司,主要获得7 家公司回覆;大多受访者表示,中国半导体先进芯片制程速度已放缓,也表示美国制裁阻碍他们从国外采购零件和材料,但用国内产品替代又会降低成品良率。
上海微电子(SMEE)工程师表示,"我们的主要光刻机是用于90nm,而28nm和14nm在良率方面仍有改善空间。"这家公司是中国唯一商用光刻机制造商。
虽然光刻机相当难生产,但全球最大制造商艾司摩尔(ASML)预计将推出可用于3nm和2nm芯片制造的光刻机。
精于蚀刻技术的中微半导体设备公司(AMEC)的一位研究人员表示,公司有提供5nm制程所需刻蚀机,但主要还是卖用于14nm和28nm制程的刻蚀机。
另一家负责蚀刻技术的制造商Beijing E-Town,主要生产40nm和28nm制程所需的相关设备。该公司员工指出,由于中国打算增加国产半导体的比例,即使是通用半导体设备,也有强劲需求。



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