1nm以下先进制程工艺发展路线浮出水面

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半导体制程工艺已经发展到3nm，今年将量产。未来的1nm及更先进制程，需要新的制造和材料工艺。

www.eet-china.com, May. 21, 2022 –

尽管英特尔、三星、台积电等公司靠着各种技术手段及营销宣传将CPU逻辑工艺一路推到了5nm节点，明年还要进入3nm节点，但是再往后还是会面临更大的挑战，特别是在1nm之后，量子隧穿效应有可能会让半导体失效。

在日前的FUTURE SUMMITS 2022大会上，IMEC（比利时微电子中心）展示了最新的路线图，一路看到了2036年的0.2nm工艺。

简单来说，今年试产N3工艺之后，2024年会有2nm工艺，2026年则是A14工艺——A代表的是埃米，是纳米之后的尺度，A14工艺可以理解为1.4nm工艺，英特尔之前提出的A20、A18工艺就相当于2nm、1.8nm工艺。

台积电在3nm工艺完成研发之后会把团队转向未来的1.4nm工艺研发，预计今年6月份启动。