RF-SOI市场现状是这样...未来还将走向3D化

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作为SOI绝体缘上硅技术的一部分，专门应用于射频器件的RF-SOI现在发展到何种程度了？今年的国际RF-SOI论坛大概能解答这个问题...

www.eet-china.com/, Oct. 30, 2023 – 

在最近举办的上海FD-SOI论坛上，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员魏星提到，IC集成电路制造技术的发展分成三个方向，分别是器件微缩的摩尔定律（more Moore）；在射频、功率、MEMS、硅光等多样化应用方向的more than Moore；以及偏非硅的未来材料研究––叫Beyond CMOS。

如果将这三个方向应用到SOI（绝缘体上硅）器件上，那么FD-SOI属于摩尔定律的推进；而在more than Moore方向则包含了RF-SOI、BSOI和硅光SOI。虽然就市场规模来看，后一个方向的应用是不及FD-SOI的，但RF-SOI也是现在的热门––尤其在经过了这些年的技术与生态推进以后。

RF-SOI的RF是指射频。意法半导体官网对RF-SOI的解释是，这是一种特种工艺，针对模拟RF性能与RF前端需求优化。一般我们说常规的RF-SOI是基于PD-SOI沟道，也就是Partial Depleted SOI。这是相对于FD-SOI的Fully Depleted SOI而言的。SOI器件结构大致上包含最上层的顶层硅，中间的BOX（Buried Oxide Layer）绝缘层，以及底层硅层。

在次日的国际RF-SOI论坛活动上，格芯（GlobalFoundries）射频技术副总裁Julio Costa在媒体采访中解释说，FD-SOI的顶层硅很薄，对于低功耗应用而言就有相当的价值，还能获得较高的Ft, Fmax。"但对于手机里面射频前端模组，需求较高功率输出、VRMS电压的应用来说，FD-SOI就不适用了。"也就成为部分耗尽的PD-SOI主场，"如此一来，就会有很出色的体控制，以及较高的VRMS电压，对于RF射频而言非常适用（really nice niche)。"

他也在主题演讲中谈到了GlobalFoundries在FD-SOI与PD-SOI器件的应用方向差异，如上图所示。在FD-SOI论坛的报道中，我们已经分享过GlobalFoundries在FD-SOI技术方向上22FDX及后续工艺的进展情况。而借助国际RF-SOI论坛，我们也来看看RF-SOI发展到哪儿了。

RF-SOI的潜在市场机会在哪儿？

和FD-SOI论坛一样，国际RF-SOI论坛的上一届举办时间是2019年，期间因为疫情停办。论坛组织方包含了新傲科技、芯原、硅产业集团，与SOI国际产业联盟。2021年初，SEMI宣布SOI国际产业联盟正式加入SEMI，所以组织方名单中也出现了SEMI的名字。

上海硅产业集团股份有限公司执行副总裁、上海新傲科技股份有限公司总经理、董事王庆宇在采访中介绍说："时隔四年，我们实地开展论坛活动。今天看到报告，因为参会人员太多，昨天我们还不得不把在线注册通道关闭。""我们举办这个活动的主旨，一方面是宣传RF-SOI，和SOI相关的技术、产品、应用；另一方面，更重要的是我们期望建立一个平台，让大家能够相互交流。"

"这个产业不是一家公司就能够做好的，需要上下游产业链，共同建立生态系统。"王庆宇还特别提到中国在这一生态中的重要性，"对于SOI产业联盟来说，中国是不可忽视的市场"，"拿射频这块来说，中国是最大的市场，因为中国占到全球5G连接点的60%，中国的5G用户也是全球最多的。所以中国更要积极推广SOI。不仅是在射频领域，包括汽车、传感器、光电等领域，SOI国际产业联盟都要做积极推广，让更多人知道SOI的价值。

同为SOI产业联盟执行委员会成员，Incize首席执行官Mostafa Emam则说："好像过去几年SOI产业联盟没那么活跃，所以我们期望未来12个月内，组织更多有吸引力的活动，并且整合、推进SEMI生态"，"不光RF射频，也不光是在上海一个地方"，以期"构建SOI产业联盟与SEMI生态的联结，共同成长"。

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