国内首台大芯片先进封装专用光刻机交付入厂

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该光刻机由星空科技自主研制，可以为Chiplet和2.5D/3D大芯片的集成制造提供光刻加工工艺。

www.eet-china.com/, Apr. 22, 2024 – 

据广州产投、越海集成官微消息，4月16日，由广东微技术工业研究院（广东微技术研发中心有限公司，简称"广东工研院"）组织的"曝光时刻––3D异构芯片封装技术研讨会"暨国内首台大芯片先进封装专用光刻机交付入厂仪式在广州市增城区广东越海集成技术有限公司举行。

增城区委常委、区委办主任曾鸿斌到会祝贺 ，上海兴橙投资管理有限公司（简称： 兴橙资本）、广州湾区智能传感器产业集团有限公司（简称：传感器集团）董事长陈晓飞先生，广东星空科技装备有限公司（简称：星空科技）董事长贺荣明先生，广东越海集成技术有限公司（简称：越海集成）总经理赖芳奇先生，福建金盛兰集团总经理陈永福先生，山西新民能源投资集团董事长李立国先生，广州产业投资控股集团有限公司（简称：广州产投）副总经理洪剑平先生，广东粤财基金总经理沈国飞先生，欧菲光集团董事长蔡荣军先生，广东工研院院长俞少峰博士，江城实验室负责人刘天建先生等八十余位嘉宾共济一堂，新朋旧友相聚广州增城越海集成，气氛热烈而和谐。

会议开始后， 广东工研院院长俞少峰博士首先代表会议组织方，向来自粤港澳大湾区和全国各地的参会嘉宾表示热烈欢迎，并介绍了组织本次研讨会的工作思路。星空科技董事长贺荣明先生与各位来宾分享了星空科技创立的使命和创业的心路历程，增城区委常委、区委办主任曾鸿斌先生 代表区委区政府介绍了增城区全力发展集成电路产业和生态，为创新创业企业和人才提供了全方位的支持和保障，并邀请各方英才聚会增城，为国家的自主创新共同努力。

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